精密ステージ KZ
くさび構造を採用したコンパクト・高剛性昇降ステージ

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シリーズの特長

1. コンパクト設計

モータ・ボールねじの水平配置により、1軸ステージの縦使い昇降機構に比べ、高さ寸法が極めてコンパクトな構造を実現しました。
KZ

2. 最大可搬質量80kg

80kg搭載時でも精密な位置決めが可能です。
(KZ15Fのみ)

3. 容易な据付

ベースの据付部が水平のため、縦使い昇降機構で必要だったイケールが不要になります。
ステージを吊り上げながらの設置が不要となり、安全な据付作業が可能です。

4. 高推力、高分解能

くさび構が減速機構となるため、高推力・高分解能が実現可能です。(減速比1:2)

5. 主な用途

●電子デバイス組立、貼り合わせ機構
●電子デバイスのナノインプリント工程
●光学レンズ、カメラのアライメント機構
●プローバー検査装置
●レーザ加工機用ワーク昇降機構
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