精密ステージ DX

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1. 中抜き構造

中央を中抜き構造とするため、案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、駆動ボールねじを外側に配置しました。テーブル上のワークを、上面および下面から測定、加工が可能で、様々なアプリケーションに応用できます。

2. サドルレスXYステージ

クロスLMガイドCSRを高剛性中抜きフレームの四隅に配置し、シンプル・高剛性で高さの低い構造としました。

3. 高精度位置決め構造

案内部に高精度加工された、クロスLMガイドCSRを採用しているため、高精度なXY構造が得られます。

各軸の案内中心と送りボールねじの駆動中心を、ほぼ同一高さに配置した理想的な構造です。これにより姿勢変化の少ない送りが可能となり、高精度な位置決めができます。また、リニアスケールを容易に取付けできる構造のため、より高精度なクローズドループ制御も可能です。

※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

DX製品一覧


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DX
サドルレスXYステージ
ストローク:250mm×250mm~550mm×550mm
仕様・寸法図
2D-CAD(DXF)DX2525
2D-CAD(DXF)DX3535
2D-CAD(DXF)DX5555
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