CHX - THKの電動アクチュエータサイト

予圧型フレキシブル平面軸受を採用した、超薄型アライメントステージ

ステージ本体

予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。

トップテーブルのサイズは縦横ともに、100〜200mmです。従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。

適正な予圧が作用したフレキシブル平面軸受を採用したことにより、ラジアル・逆ラジアル・モーメント方向に対して高剛性です。

トップテーブルに作用したラジアル荷重の大部分を上プレートを介してフレキシブル平面軸受が支持するので、駆動モジュールで使用している案内部にはラジアル荷重がほとんど作用されません。そのため、長期的に高精度が維持できます。

●光学機器、医療機器、バイオ事業
●太陽電池、光学レンズの貼合わせ装置
●プローブ検査装置
●チップデバイス露光、印刷、塗布装置
●微細レーザ加工機
●チップマウンタ用アライメント

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CHX-100-L, CHX-160-L アライメントステージステージ高さ：35, 45mm　テーブルサイズ：□100mm, □160mm
CHX-125-H, CHX-200-H アライメントステージステージ高さ：60mm　テーブルサイズ：□125mm, □200mm