画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ
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ステージ本体
シリーズの特長
1. 大型ワークに対応
トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。XYθモジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。
2. 超薄形・軽量
XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。
3. 中抜き構造
トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。
4. 高剛性・高精度
XYθモジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。
5. 主な用途
●FPD製造装置・検査装置
●半導体製造装置・検査装置
●スクリーン印刷機・マスク検査装置
●プリント基板製造装置・検査装置
●太陽電池製造装置・検査装置
●電子デバイス製造装置・検査装置
●半導体製造装置・検査装置
●スクリーン印刷機・マスク検査装置
●プリント基板製造装置・検査装置
●太陽電池製造装置・検査装置
●電子デバイス製造装置・検査装置
CMX製品一覧
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