EX - THKの電動アクチュエータサイト

• 1. シンプルなXY構造
• 2. すぐれた応答性
• 3. 高剛性XYステージ
• 4. ガタのない連結機構

案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。

〔モータ軸換算負荷：慣性モーメントJ〕
EX0505：X軸 0.026［kg-cm2］, Y軸 0.027［kg-cm2］
EX0808：X軸 0.029［kg-cm2］, Y軸 0.030［kg-cm2］
注） カップリング、および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。

XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。
※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。

※2D-CAD(DXF)のダウンロードがうまく行かない場合は、「2D-CAD(DXF)」ボタンの上で右クリックして「対象をファイルに保存」を行ってください。

EX XYステージ ストローク：50mm×50mm～75mm×75mm

EX0505 EX0808