ウェハーパレタイジング

  • 使用形番
  • CSKR
ウエハー搬送部にCSKRを使用しています。高いクリーン度要求のため、クリーンシリーズのCSKRが採用されました。また、SKRを使用しているので剛性も高く、コンパクトに組み上げることを可能にいたしました。

ウェハーパレタイジングの使用例

使用製品

CSKR
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