ウエハ検査装置

  • 使用形番
  • GLM
  • KLM
下軸にGLMを、上軸にKLMを使用しています。上軸はタクトが厳しく、コンパクトにしたいため、小型で推力のあるKLMが採用されました。

ウエハ検査装置の使用例

使用製品

GLMKLM
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