更新情報
ピエゾステージが追加されました
THK電動アクチュエータにピエゾステージが追加されました。
ピエゾステージは以下の特長があります。
■圧電アクチュエータと変位センサを組み合わせて位置制御する超精密ステージです。
■ステージは5つのタイプから選択出来ます。ベーシックタイプは高速応答性に適したダイレクト機構、長ストロークに適した拡大機構の2つの種類がございます。その他、開口付き、対物レンズ、チルト・回転、精密加工等用途に合わせて選択出来ます。
ピエゾステージは以下の特長があります。
■圧電アクチュエータと変位センサを組み合わせて位置制御する超精密ステージです。
■ステージは5つのタイプから選択出来ます。ベーシックタイプは高速応答性に適したダイレクト機構、長ストロークに適した拡大機構の2つの種類がございます。その他、開口付き、対物レンズ、チルト・回転、精密加工等用途に合わせて選択出来ます。
詳しくはTHKグループ会社「THKプレシジョン株式会社」のホームページをご覧ください。
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