搬送部にVLAST、TH、GL-Nを使用しています。ベース材質がアルミの為軽量であり、かつ高剛性なTH、GL-Nを使用することで、高速、ロングストロークといった搬送用途に幅広く対応できます。
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ウエハー搬送部にCSKRを使用しています。高いクリーン度要求のため、クリーンシリーズのCSKRが採用されました。また、SKRを使用しているので剛性も高く、コンパクトに組み上げることを可能にいたしました。
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ロボット搬送にGL-Nを使用しています。駆動方法は特殊でラック＆ピニオンを用いておりロングストローク、高剛性などを活かしGL-Nが採用されました。
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ワーク移動部にTHを使用しています。ベース剛性の高さからTHが採用されました。ロングストロークを高速で搬送することが可能です。
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洗浄装置の搬送部にVLASTを使用しています。モーメント負荷が大きいですが、リニアブッシュで補助して安価の装置構成を可能にしました。
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ワーク移動部にESを使用しています。加工部の近くにあり、切り粉がかかりますが、フルカバー構造のため採用されました。
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駆動部にGLMを、垂直軸にSKRを使用しています。リニアモータシリーズの特長を活かし、高速・高加減速でのロングストローク動作を可能にする事で、タクトタイムの短縮を実現いたしました。
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