1. 超薄型
予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライメントステージを実現しました。
2. トップテーブルの小型化
トップテーブルのサイズは縦横ともに、100～200mmです。
従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。
3. 中抜き構造の設定可能
トップテーブル・ベース中央部に、貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です（特殊対応）。
下面からの透過光測定、機械・装置の配線処理の簡略化、トップテーブルインロー穴として活用出来ます
※ CHX‒160‒L, CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプは中抜き構造を標準対応しています。
さらに、CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプについては、中抜き構造の特殊対応が可能です。
4. 結線作業の簡略化
モータ、センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
CHX製品一覧
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CHX–100–L, CHX–160–L
アライメントステージ
ステージ高さ：35, 45mm テーブルサイズ：□100mm, □160mm
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CHX–125–H, CHX–200–H
アライメントステージ
ステージ高さ：60mm テーブルサイズ：□125mm, □200mm
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