CMX - THKの電動アクチュエータサイト

画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）

ベース・トップテーブル間の四隅に、クロスＬＭガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面配置する独特の構造を採用し、超薄形構造を実現しました。

• 1. 大型ワークに対応
• 2. 超薄形・軽量
• 3. 中抜き構造
• 4. 高剛性・高精度

トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。

XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

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CMX1 アライメントステージ ステージ高さ：90mm　テーブルサイズ：□250mm, □350mm	CMX1-025 CMX1-035
CMX2 アライメントステージ ステージ高さ：110mm　テーブルサイズ：□400mm, □500mm, □750mm	CMX2-040 CMX2-050 CMX2-075
CMX3 アライメントステージ ステージ高さ：160mm 　テーブルサイズ：□1000mm, □1500mm	CMX3-100 CMX3-150