精密ステージ CMX
画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージ

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シリーズの特長

1. 大型ワークに対応

トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの大型ステージを標準化。XYθモジュールを必要数配置することで、更なる大型化への対応も可能です。
大型ワークに対応

2. 超薄形・軽量

XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて軽い機構を実現しました。

3. 中抜き構造

トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得られ、光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能です。

4. 高剛性・高精度

XYθモジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスローラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の高い構造です。

5. 主な用途

●FPD製造装置・検査装置
●半導体製造装置・検査装置
●スクリーン印刷機・マスク検査装置
●プリント基板製造装置・検査装置
●太陽電池製造装置・検査装置
●電子デバイス製造装置・検査装置

CMX製品一覧


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CMX1
アライメントステージ
ステージ高さ:90mm テーブルサイズ:□250mm, □350mm
仕様・寸法図
2D-CAD(DXF)CMX1-025
2D-CAD(DXF)CMX1-035
CMX2
アライメントステージ
ステージ高さ:110mm テーブルサイズ:□400mm, □500mm, □750mm
仕様・寸法図
2D-CAD(DXF)CMX2-040
2D-CAD(DXF)CMX2-050
2D-CAD(DXF)CMX2-075
CMX3
アライメントステージ
ステージ高さ:160mm  テーブルサイズ:□1000mm, □1500mm
仕様・寸法図
2D-CAD(DXF)CMX3-100
2D-CAD(DXF)CMX3-150
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