検査装置の昇降部にESを使用しています。装置内のフリースペースを利用し、さらにローコストなESを使用することで、装置を大きくすることなくコストダウンに成功いたしました。
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カメラの昇降部にVLASTを、昇降台の移動部にSKRを使用しています。反りの大きい基板でも、カメラを昇降させることで補正し、剛性の高いSKRを使用することで、大型ワークでも対応可能にいたしました。
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カメラの昇降部にSKRを、移動部にGLMを使用しています。また門型構造の駆動軸にGLSを使用することで、SSCNETⅢネットワーク通信での同期駆動を可能とし、大型ワークへの対応を可能といたしました。
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装置昇降部にAステージを使用しています。ブロックスパンの大きいAステージを使用することで、ピッチング方向の負荷を広く受け、ピッチング方向の変位量を抑え、精度よく測定することに成功いたしました。
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読み取りヘッドの移動部にSKRを使用しています。リテーナ効果による滑らかな動作にてスキャン精度を向上させました。
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