ガラス基板周辺露光装置

  • 使用形番
  • GLM
  • GLS
基板の搬送部にGLMを、露光ユニットの駆動部にGLSを使用しています。ベースをつなぎ仕様にすることで、5000mmという長いストロークも高速で動作可能です。

ガラス基板周辺露光装置の使用例

使用製品

GLMGLS
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